仪器型号：Apreo 2s
生产厂家：赛默飞
技术参数：
高真空模式分辨率 | 15kV时≤0.5nm； 1 kV时≤0.8nm；500 V时≤1.0nm | 长工作距离分辨 | 工作距离10 mm下，1 kV时≤1.0 nm |
放大倍率范围 | ≥20 ～ 2,000,000倍 （底片放大，非显示放大） | 着陆电压 | ≥20V 至 30 kV |
电子束流 | ≥1 pA ～ 50 nA，连续可调 | 样品室左右内径 | ≥340mm |
设备简介：本设备为赛默飞世尔（Thermo Fisher Scientific）推出的 Apreo 2s 复合型高分辨场发射扫描电子显微镜，是面向前沿材料、新能源、微电子、催化等领域的高端纳米表征分析平台，兼顾亚纳米级形貌成像与原位元素同步分析，适配多用户共享实验室科研需求Thermo Fisher Scientific。设备核心搭载磁电复合浸没式物镜，成像分辨率行业领先：1kV 加速电压下原生分辨率可达0.9 nm，搭配束减速模式可提升至0.8 nm；500V低电压下分辨率0.8 nm，200V超低电压仍维持1.2 nm分辨能力，即便10 mm长分析工作距离下依旧实现1 nm高清成像，是同类设备中唯一可在分析工作距离下不损失分辨率的机型，兼顾大空间样品观测与高精度形貌表征需求，磁性粉体、薄膜、纳米器件等难成像样品均可获得无畸变清晰图像。设备加速电压覆盖200 V–30 kV，束流区间1 pA–50 nA，低束流模式可大幅降低绝缘、有机、生物敏感样品电子束损伤。
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