仪器型号：Ultim Max 65/Symmetry S3
生产厂家：0xford Instruments Nanotechnology Tools Ltd
技术参数：
EDS分析元素范围 | Be（4）～Am（95）号元素 | EDS能量分辨率 | ≤ 127eV |
EBSD分辨率 | 1244*1024 | EBSD在线解析标定速度 | ≥ 5700pps |
EBSD取向精度 | ≤0.05度 | EBSD相机 | 高速低噪音CMOS相机 |
设备简介：Ultim Max 65 为 65mm² 大面积硅漂移探测器（SDD），Symmetry S3 是业界一体化 CMOS 型 EBSD 探测器，两套系统可同步采集 EDS 元素分布与 EBSD 晶体取向数据，实现元素偏析、物相种类、晶粒织构、微观应力的关联分析。系统适配金属合金、固态电解质、半导体器件、陶瓷、地质矿物、复合材料等各类试样，可完成断口失效分析、界面元素扩散、晶粒演化、成型工艺织构、微区缺陷定量统计等测试。整机自动化程度高，标定算法稳定，操作流程标准化，适配高校公共测试平台、企业材料研发实验室批量样品检测，为新材料机理研究、器件性能优化、工艺缺陷溯源提供完整、高精度微区定量表征数据支撑。
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